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四氟化碳(电子级)

发布时间:2019-08-24 | 游览:8814

产品名称气体纯度气瓶规格阀门充装量(Kg)保质期
CF499.999%DOT47LCGA580/CGA320/DISS716322年
DOT440LDISS7163002年
备注:可按客户要求定制包装规格


四氟化碳是一种无色、无臭、不燃的可压缩惰性气体。它是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的烛刻。 在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。

电子级四氟化碳技术指标:

包装容器:规格齐全,按客户要求配置。